二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高度先进的蚀刻/asher设备，设计用于精密材料去除和介电膜沉积。该系统提供了广泛的应用，从半导体器件的基本蚀刻/掺杂/沉积，到高级包装设计中用于铜线图样的高端等离子体蚀刻。TEL INDYPLUS单元提供高速度和精确度,可实现高度可重复的结果。TOKYO ELECTRON INDY PLUS机的核心是触摸屏PC，它容纳了构成数据采集和控制工具的硬件组件。这款触摸屏PC配备了先进的流程控制软件，使用户能够快速轻松地为手头的应用程序配置精确的参数。PC还包括多项安全功能，如专家级用户的自动化培训模式、实时监控等等。INDYPLUS资产可以配置各种工具,具体取决于当前的流程。提供两种类型的蚀刻器,即Toggle蚀刻器和Side蚀刻器。这两种蚀刻系统都提供了若干可编程的轨道和垂直运动，从而能够精确控制蚀刻速率、选择性和均匀性。此外,Side蚀刻器可在单个通道内进行高达1000 um深的蚀刻。对于干蚀刻,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS型号提供了先进的气流控制器,可对所有蚀刻气体进行快速、精确的流量控制,以及用于快速报警响应和反馈的警报报报器。此外，等离子体室还配备了先进的射频驱动功能集，控制气体成分、浓度、压力和流量，以提供高精度蚀刻剖面。为了提高吞吐量，设备包括自动晶片装卸，晶片对晶片处理时间不到10秒。对于薄膜沉积应用，Indy Plus系统提供了过滤真空弧、溅射阴极、蒸发源等多种沉积源。这些来源带有可调的输出，适用于多种材料，从金属到聚合物和有机材料。此外，板载源监测单元允许对沉积过程进行全面控制和反馈。高性能硬件、灵活软件和多种强大工具的结合，使得TOKYO ELECTRON Indy Plus成为广泛蚀刻沉积应用的理想解决方桉。无论您是专家用户,还是需要基本的蚀刻/掺杂/沉积功能,TOKYO ELECTRON INDYPLUS机器都能提供快速、可重复的结果,同时允许复杂的过程开发和优化。