二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828768 待售

TEL/TOKYO ELECTRIN TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款自动化的asher/etcher机器，为广泛的基材蚀刻应用而开发。它可以处理各种材料如半导体晶圆、MEMS（微机电系统）和其他薄基板。该机具有精心设计的工艺室，能够精确的蚀刻速度和过程均匀的结果。其创新的温度控制设备确保了卓越的基板均匀性，并允许一些独特的和专门的配置和操作。TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRIN TEL INDYPLUS配备了精确的微动作台，可以在不涉及任何手动移动的情况下进行精确蚀刻。此功能可轻松满足工艺公差并提供所需的结果。该表还采用了获得专利的手套箱系统，该系统减少了来自加工室的污染物流动。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还配备了车载气体溷合控制器。这使得使用者可以精确溷合干性和惰性或腐蚀性气体，创造出所需的蚀刻操作大气层。来自机组的压缩气体被送到分析单元进行进一步的成像和分析。用户可以通过基于窗口的图形用户界面控制整个进程，并通过远程连接联系主机。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS用途广泛，可处理等离子体和反应性离子蚀刻、低温、溅射沉积等多种操作。它还提供扫描控制、数据记录和可编程配方等高级功能。它有一个内置的安全联锁，防止危险的操作条件，可能导致严重的伤害和财产损失。TOKYO ELECTRON INDYPLUS可以与其他元件整合，打造完整的生产机器。它可以与湿式板凳、抗性脱衣舞娘和附加的工具外围设备一起使用。它也可以很容易地根据特定的材料和要求进行校准。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRIN TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS为那些寻求具有多种高级功能的精密基板蚀刻设备的用户提供了独特的解决方桉。其尖端技术确保了卓越的效果和质量控制，其多功能性使其适合各种操作和应用。