二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种在半导体工业中广泛使用的用于先进基板加工的蚀刻器和asher设备。该系统能够执行深层反应性离子蚀刻（DRIE）、干蚀刻和等离子体蚀刻等蚀刻过程。它还能够灰化，用于去除副产品和基板表面任何其他有害材料。TEL INDYPLUS单元是一款先进的等离子体蚀刻器，旨在减少时间和成本，同时确保高质量和可靠的蚀刻工艺。它是一个结合了真空室、气体控制工具、基板加热单元和等离子体发生器的集成机器。资产由TOKYO ELECTRON INDY PLUS蚀刻器和Indy Asher两部分组成，能够处理直径达200毫米的底物。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS蚀刻器具有高精度电容耦合射频激发源；这样就可以有效地生成稳定和均匀的等离子体，从而产生可靠和可重复的过程结果。该型号还配备了先进的数字控制处理器，允许对蚀刻过程进行精确、可编程的控制，如蚀刻深度、形状和轮廓。Indy Asher采用快速可靠的灰化工艺，旨在去除基板上的有机、金属和无机材料。Asher能够快速清洁表面，具有优于传统Ashing技术的精确度和重复性。它在等离子体腔内提供均匀的温度分布，允许均匀蚀刻速率。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS设备配备了多项功能，提高了工艺效率，提高了蚀刻和灰化工艺的效果。它提供了对压力、气流、温度和射频功率的严格控制，因此用户可以准确优化其处理参数，轻松重复设置条件。该系统还设有一个气体管理单元，以确保有效供应蚀刻和灰化过程中使用的气体，以及一个用于实时监测过程的集成远程监测显示器。TEL INDY PLUS机是一款先进可靠的蚀刻和灰化工具，旨在为客户提供高精度、可重复的基板加工。它非常适合在一系列半导体行业中使用，允许用户在一小部分时间内实现改进的工艺结果。