二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款面向半导体器件制造的蚀刻器/asher，专为卓越的分辨率和效果而设计。TEL INDYPLUS是一种50瓦等离子体辅助Si基蚀刻器/asher，使用低浓度的氯气作为蚀刻剂。该设备有两个独立的离子源，经过优化，可以在正负光刻机上提供卓越的蚀刻工艺。蚀刻源采用快速热氧化源，旨在消除低频漂移，提供更高的吞吐量。此外,TOKYO ELECTRON INDY PLUS还包括各种专门为解决半导体器件制造中常见挑战而设计的功能,包括边缘粗糙度、降噪、基板均匀性和整体尺寸精度。此外,INDYPLUS利用独立的反馈控制系统来确保精确的蚀刻速率和参数。此功能允许精确的模式控制,减少了对其他迭代或流程步骤的需求,并显着提高了流程的可重复性。该单元配备了先进的算术曲线拟合特性，便于根据任何工艺要求精确创建可跟踪、无缝的蚀刻图样。INDY PLUS利用高端的PECVD工艺来创建粘附并保护底层底层的薄膜层。该工艺采用等离子体增强的低频CVD（LFCVD）反应器，能够产生具有均匀阶梯覆盖率和良好附着力的高质量涂层。加上先进的光学机器，这允许生产各种具有复杂特征和紧密公差的器件结构。此蚀刻器/asher还附带一个高级工具集,用于对蚀刻和灰化过程进行实验和自定义。此外,还可以配置多个泵以实现广泛的蚀刻和灰化功能,包括顺序蚀刻和远程灰化。这些特点，加上出色的工艺控制和可重复性，使Indy Plus成为半导体器件制造的理想蚀刻/灰度解决方桉。