二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款半自动、紧凑的蚀刻器/asher设备，旨在满足半导体行业内的各种蚀刻和灰化需求。它具有高达40个循环/小时的自动蚀刻和灰化速率,用于蚀刻和长达16分钟的整个灰化循环时间,并支持多种基板,包括硅片、平板显示器、铝金属化层和互连。系统重约950公斤，整体单位足迹约1200 × 1100毫米。操作员将能够通过支持Windows和Linux的计算机访问计算机。操作工具是TEL开发的专有软件。TEL INDYPLUS由一个开放式卡式装载站、一个机床、一个灰化室、蚀刻室、资产控制和气体面板组成。开放式卡带装载站作为包含多达25个基板的卡带的自动装卸中心。机床位于盒式磁带的右边，装有模型的所有基本部件。这包括射频发生器、气板、气线、负载锁和真空泵。蚀刻室位于机台正下方。它具有自动的底部提升卡带装载设备，允许操作员在蚀刻过程中精确控制基板位置。它还拥有双RF供应商，具有锁载能力，进一步提高处理时间。灰烬部分装有专用石英管的灰烬室。该系统能够快速灰化,有助于最小化处理时间。它还有一个有效的背面排气装置，确保基板正确粉碎。该机还配备了压力传感器、排放监测器、泄漏检测系统等多种安全功能。此外,它还与标准的晶片处理工具和附件（如探针、散热器、手套、针脚和石英船）兼容。TOKYO ELECTRON保证了TOKYO ELECTRON INDY PLUS工具极其人性化和高效，使其成为全球许多半导体公司的热门选择。