二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用于半导体晶圆制造工艺的先进蚀刻器/asher。它是TEL公司生产的一系列蚀刻设备中的最新产品。这台机器能够处理300毫米和200毫米晶圆的蚀刻和灰化工作。其先进的特点为关键集成电路工艺步骤提供了可靠的解决方桉。该机配备了高效的陶瓷射频室，提供了更好的蚀刻选择性、精度和均匀性。它还有一个负载锁和工艺盒，这意味着晶圆可以在不暴露于环境的情况下装载到设备上，确保材料的纯度。它的过程气体输送系统也连接到湿式台阶上，以实现高效的气体输送和温度调节。它还具有高分辨率的摄像头，具有图像捕捉能力，用于晶圆检查，以防止工艺缺陷。TEL INDYPLUS解决方桉还融入了公司动态臭氧清除装置（DORS）技术。机器过滤掉蚀刻过程产生的不需要的臭氧气体，使其不仅更安全而且更高效。其自动量规和原位计量控制工具在缩短过程周期以及确保集成电路技术节点阵列的产品质量方面也是有效的。该资产由一个用户友好的界面控制，可以方便地设置和维护机器。它还可以配置可选的自动化设备,为定制生产需求提供更轻松、更简单的操作。该模型为流程优化的故障排除活动提供实时数据，同时还带有直观的维护模式，允许快速实施预防性维护例程。总体而言，TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一种先进的蚀刻器/asher理想的半导体织物。其最先进的功能旨在确保可靠的工艺结果,并具有最大的材料纯度和出色的设备生命周期正常运行时间。该系统易于维护,经济高效,并具有多种自动化功能,可顺利执行集成电路生产过程。