二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828776 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款先进的蚀刻器/asher，旨在提高生产力和减少浪费。该装置是一种大型蚀刻器/灰化器，适合各种半导体制造工艺的需要。它具有高精度的蚀刻/灰化工艺，具有优异的耐热性和均匀性。该蚀刻器/asher能够从纳米晶片加工到大型面板晶片和其他高精度零件。独特的设备设计支持高性能蚀刻/灰化过程,并允许快速循环。TEL INDYPLUS通过其PID（比例积分导数）过程提供高级温度控制。这样可确保在多个批次之间进行一致的蚀刻/灰化过程。其干泵可确保真空污染的最小值,并确保用户的安全。该装置还有一个气体杂项系统，允许使用多种气体，如N2、O2、CF4、HCC、NF3、CHF3、Ar、C4F8和O3。这允许蚀刻器/asher处理许多特定于用户需求的不同蚀刻/灰烬过程。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS通过其强大的基于PC的控制单元提供高精度的过程控制。这允许用户创建自定义配方、管理用户配置文件以及控制蚀刻/ashing过程的各个方面。机器还提供有关蚀刻/灰化过程性能的实时信息和分析。这有助于操作员快速诊断任何问题并采取纠正措施以提高流程的性能。INDYPLUS包括一个用户友好的图形用户界面（GUI）。GUI为用户提供了一系列功能,例如调度、监视和设置蚀刻/ashing进程。该软件易于使用，可以保存各种用户定义的进程。该设备还提供了一系列诊断工具来分析流程参数并检测任何潜在问题。总之，INDY PLUS是一种先进的蚀刻器/asher，具有一套出色的特点，以提高生产力和减少浪费。其强大的PID控制过程可确保在多个批次之间进行一致的蚀刻/灰化过程。它的干泵减少了真空污染，其气体溷溶工具允许使用多种气体。该设备还包括一个用户友好的图形用户界面和一系列用于分析流程参数的诊断工具。所有这些特性使得TOKYO ELECTRON INDYPLUS成为半导体制造成功蚀刻/灰化工艺的理想选择。