二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9179439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种蚀刻器，又称asher，用于半导体研发。设备是完全自动化的，并提供高度的过程控制，以确保可重复操作和质量。TEL INDYPLUS具有高级控制能力和高吞吐量,可支持多种蚀刻方法。该系统旨在让研究人员直接修改工艺条件，以优化各种材料和装置结构的蚀刻配方。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供卓越的温度控制，包括一个高容量的热卡盘，保持稳定的工作温度以最大限度地提高精度。该单元有一个数字智能计时器，具有可编程的分辨率和对蚀刻过程的控制，给用户更大的灵活性和精确度。TOKYO ELECTRON INDYPLUS以六个气体入口为特色，具有在广泛的蚀刻应用中优化多气体化学和工艺条件的能力。TEL Indy Plus设有专用气体输送机，用于管理蚀刻过程中使用的气体数量。这种气体输送工具可以通过Web浏览器界面进行远程监控和调整。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS还提供压力、温度、流量等关键蚀刻参数的实时趋势跟踪，以最大限度地提高工艺可靠性。TEL INDY PLUS蚀刻器已设计为与各种基板尺寸和加载配置兼容。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有大容量负载锁和每次运行最多六个负载插槽，可以对大小晶圆运行进行缩放。资产还具有各种安全联锁、警报和监测技术，以确保在任何研究环境中的安全和高效运行。它旨在最大程度地减少停机时间,并为成功且可重复的处理应用程序优化工作效率。INDY PLUS是一种可靠、高效的蚀刻模型,它提供完整的过程控制以提供一致且可重复的结果。设备完全自动化和高度可扩展性，旨在满足各种研发实验室的需求。Indy Plus采用先进的数字智能计时器和先进的气体输送系统，是蚀刻工艺的最佳选择。