二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9211650 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款灵活、最先进的客户端工艺蚀刻器。它有效地蚀刻/分解各种层压板、基板和金属，用于制造微电子学和其他应用。它具有多种工艺和材料功能，包括广泛的基板尺寸、多种工艺组合、易于使用的用户界面，并配备了高保真分辨率的串联摄像头设备。TEL INDYPLUS提供了TEL高级蚀刻设备中最广泛的工艺范围。此范围包括等离子体蚀刻、蚀刻、湿蚀刻和图样。该工具还具有灵活性，可以容纳从0.25微米到5微米的各种系统层压板和基板。基板蚀刻能力对经常使用高分辨率图样的微电子制造商特别有利。易于使用的用户界面为用户提供了对蚀刻过程各个方面的全面控制。它允许参数调整和重复进程的运行。MaxVUE工具库提供对广泛的时钟选项、脉冲宽度和RF能力的访问,这些功能有利于需要完善的模拟。串联摄像机单元使用户能够实时查看每个蚀刻零件，以及光学测量蚀刻过程。这有助于确保在生产过程中保持Critical-Dimension （CD）控制。这进一步简化了蚀刻过程，并允许用户监控整个基板的进度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS工具的高级诊断包括一个多点等离子体探针，使CD在整个晶片上进行测量和验证。该工具还能够检测蚀刻速率是否保持在预设公差范围内。TOKYO ELECTRON INDYPLUS非常适合各种蚀刻需求。它易于设置和操作，其广泛的工艺能力使其成为微电子制造和其他工艺控制应用的理想选择。串联摄像机、高级诊断程序以及全面的材料和工艺选项使其成为满足各种蚀刻需求的可靠选择。