二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9229580 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款专为高生产率和可靠性而设计的最先进的蚀刻器。作为蚀刻设备的领先厂商之一，TEL以提供性能优越的高品质机械而闻名。TEL INDYPLUS的生产重点是提供快速的吞吐量和可靠的运行。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一款高度通用的蚀刻器。它可用于使用单步或多步蚀刻技术创建具有精确特征大小控制的超细高纵横比结构。它设计用于深度反应性离子蚀刻（DRIE）和干蚀刻等非接触过程。这台机器还能够对具有高长宽比特征的基板进行高精度图样绘制，并实现大体积薄膜沉积。其真空兼容性非常适合纳米光刻工艺。TEL Indy Plus配备了先进的安全功能，确保运营商安全的工作环境。它有一个内置的电压监测设备，以防止电击。还有一个低维护、喷嘴式的疏散阀，以保持适当的真空水平。此外，保护罩可以通过按下按钮操作，让操作员在机器运行时保持手的自由。INDYPLUS利用高级工艺能力提供卓越的蚀刻性能。它的腔室效率很高，使得蚀刻过程可以用较少的能耗完成。该腔室还为广泛的加工窗口能力而设计，使用户能够灵活地使用各种基板进行操作。此外，先进的控制系统为蚀刻工艺提供了精确的实时控制。温度控制单元还允许精确控制蚀刻参数，如压力、流量和射频电源。TEL INDY PLUS为用户提供了扩展的蚀刻一致性、可靠性、吞吐量和沉积控制。它是许多蚀刻相关任务如SOI应用、Ni纳米线应用、穿孔和切断/钝化、PZT/铁电蚀刻、MEMS/NEMS蚀刻、纳米挖沟等的热门选择。这台机器非常适合希望以优异的效果执行高级蚀刻过程的用户。