二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9235034 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9235034
晶圆大小: 12
优质的: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款asher/etcher,由电子专家公司TEL制造。这种创新的装置设计用于在晶圆和基板上进行精密蚀刻工艺。它具有磁盘加载系统,可以快速高效地加载和卸载磁盘。此外,TEL INDYPLUS还配备了自动参数控制和自动调整功能,使其能够针对某些蚀刻工艺进行优化,以最大限度地提高产量。蚀刻器使用多种蚀刻气体,以确保获得最高质量的结果。TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用加热的压板确保样品和晶圆在整个蚀刻过程中保持在必要的温度。这有助于防止任何温度波动或热损坏,并消除操作过程中发生任何热冲击的可能性。此外,TEL INDY PLUS有一个真空装置,用于在蚀刻过程中维持大气,并防止任何杂质暴露。该装置拥有精密的控制系统,可以通过手动或远程方法操作。控制器使用多种参数为每个蚀刻配方精确设置参数,以及监控整体进度。此外,它还可以计算和存储不同的工艺和测量数据,允许用户比较和分析蚀刻结果。通过不断的分析,单位有潜力不断提高工艺性能和产品质量。INDYPLUS还具有各种安全功能,可保护用户免受任何潜在危害,例如防过热系统、压力感应功能和过载指示器。这样可以确保进程顺利运行,而不会发生不需要的事件。此外,TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供出色的环境保护,因为它符合必要的污染法规。在求和上,TEL Indy Plus是一种先进、精确、可靠的asher/etcher。其独特的特点和出色的安全措施使其成为各种半导体和基板蚀刻操作的绝佳选择。
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