二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9250264 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是之前光刻的高性能蚀刻器/asher。它是为了有效地从硅或复合半导体晶片中除去氧化物层，同时也能够剥离抗蚀层。TEL INDYPLUS在设计时考虑了各种特性，例如晶片顶部和底部表面的均匀性，能够控制灰分性能而不会造成颗粒污染。TOKYO ELECTRON INDY PLUS有一个直接回流的自上而下的双频等离子体源。这种设计使得晶圆的上下表面具有均匀的蚀刻效果，从而带来更好的吞吐量和更高的精度。产品配备了先进的晶圆级工艺控制系统，可实现精确稳定的蚀刻和灰化性能。此外，还有一个嵌入式的反应室内压力和温度监测系统。反应室具有独特的电源系统，可用于各种蚀刻/灰化过程。这允许用户为不同的工艺用途选择所需的等离子体功率，如蚀刻层或薄膜、表面清洁和去除残留物。此外,TEL INDY PLUS具有内置的安全功能,可防止事故和死亡,并减少对产品造成的任何潜在损害。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS还附有低压、低功率、定时控制的加工气体输送。这样可以确保在蚀刻/灰化过程中不会损坏晶片。它可以高效处理各种各样的底物，表面上没有残留物。它还具有快速稳定的蚀刻和灰化参数匹配，以适应用户的需求。最后，Indy Plus是一种适用于硅和复合半导体晶片的通用、高效的蚀刻器/灰化器。凭借其强大的等离子体源、直接回流的自上而下的设计，以及内置的安全特性，可以提供一致、统一的结果，具有很高的精确度。