二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9254679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus蚀刻机是一种先进的asher技术，设计用于各种基材加工技术，包括等离子体蚀刻、干蚀刻、ashing和离子铣削。该设备采用高精度运动和射频功率控制相结合的方式,在广泛的蚀刻应用和材料中提供卓越的蚀刻效果。为各种真空技术配置了多个加工室，能够处理尺寸达300毫米的大型基板。该系统具有晶圆温度、射频功率、气体压力、气体流量和蚀刻压力的精确控制功能。这样可以确保出色的质量和均匀的蚀刻轮廓。该装置采用独特的双叶片升力电机机构，结合专有压力和气流控制，非常适合敏感、高分辨率的蚀刻作业。其高效的气流配置保证了均匀的蚀刻覆盖面和隔离区域，具有很高的可重复性。与其他蚀刻系统相比，该机具有非常低的流速公差和改进的工艺均匀性，可以蚀刻厚膜和薄膜，从而实现精细的定义和更整洁的蚀刻。内置快门还能确保最大程度的过程控制，使其适合敏感应用。此外,TEL INDYPLUS蚀刻器非常灵活,提供了一套全面的功能,可在各种蚀刻轮廓中优化蚀刻过程。它提供了广泛的真空工艺技术，包括单室和多室蚀刻，并允许在蚀刻过程中改变气体溷合物的地址。TOKYO ELECTRON INDY PLUS蚀刻工具也是高效率的，为底物加工作业提供了更快的吞吐量和更快的周转。其高性能使其非常适合短期生产运行或原型制作工作。它的模块化设计允许蚀刻器交换工艺室而不会干扰任何其他工艺组件的位置,从而为生产工艺提供高效的设置。总体而言，TOKYO ELECTRON Indy Plus是一个高度先进的蚀刻资产，提供非常精确的蚀刻参数控制，在各种基材上提供质量的蚀刻结果。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS蚀刻器具有可靠的性能、广泛的工艺技术和高效的工艺控制,是蚀刻应用的理想选择。