二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款最先进的工业级干蚀刻设备,旨在提供卓越的蚀刻精度、吞吐量和拥有成本。该系统用于半导体模具和其他器件的深层通风、沟槽填充和横向蚀刻。它具有先进的腔室设计，允许先进的等离子体技术和优越的工艺可重复性。该装置能够支撑广泛的加工窗口，包括：氧化物、聚硅、氮化物、对苯二酚/帕里、溅射和化学气相沉积。微加工室是完全自动化的，具有多层次的高科技触摸屏控制和集成配方编程机。TEL INDYPLUS建立在最新技术之上，包括高分辨率、高压室、高温晶圆基板支架和先进的热处理炉。它还具有闭环气体输送工具，有助于促进清洁和一致的蚀刻过程。激光光束剖面仪（LBPP）资产允许高度精确的蚀刻，具有精确和均匀的整个表面深度控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还利用先进的光学反射计（ORP）和优化器（OQP）系统，为用户提供有关蚀刻工艺质量的详细信息。此外，TEL INDY PLUS型号还设有集成诊断设备，有助于实时识别系统错误。此诊断单元可帮助操作员和工程师快速准确地识别流程问题。INDYPLUS蚀刻机的性能提供了精确度和精确度的极致水平，允许精确且可重复的蚀刻结果。它是单层和多层蚀刻的完美工具,是需要业界领先的准确性和一致性的客户的理想蚀刻资产。