二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9267594 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蚀刻器/asher，专为执行各种各样的晶圆处理任务而设计。它具有帮助创建各种基于晶圆的设备的功能。它采用干蚀刻工艺，使其能够有效地蚀刻硅、氧化物、氮化物、金属和聚合物等各种材料的层。其各向异性蚀刻速率保证了层厚度的精确控制。蚀刻器/灰化器也被设计用来减少化学尾巴和均匀模式在即使是最大的区域。蚀刻过程在全自动、高度可控和低温的环境中完成。设备由蚀刻室、泵室、气箱和排气系统组成。腔室加热至目标温度，气体溷合物送入蚀刻腔内。然后根据需要调整腔室中的温度，以保持整个过程的一致蚀刻过程。压力和流量也可以在过程运行过程中进行调整,从而可以精确控制蚀刻速率。TEL INDYPLUS还采用了干蚀刻方法,从而无需额外的湿工艺。这为制造商节省了成本,并带来了环境效益。此外，由于无需等待湿蚀刻循环完成，因此加速了制造过程。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了包括自动监控单元在内的多种安全功能。这台机器允许实时监控蚀刻过程，在出现异常情况时会提醒操作员。此外,Indy Plus还允许对制造过程进行完整的可追踪性,允许客户查看整个过程中使用的蚀刻过程、材料和参数。这样可以精确跟踪流程,确保达到最佳质量标准。总体而言,INDYPLUS是一款可提供精确、可靠性和便利性的蚀刻器/asher。它的自动化特性使其能够生产出一致且质量最高的高度精确和精确的基于晶圆的产品。其安全特性也使其成为用于制造各种基于晶圆的设备的理想蚀刻器/灰化器。