二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9296775 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种用于生产半导体晶片的高分辨率微图样的蚀刻器/asher。TEL INDYPLUS设计用于将图样蚀刻到20 nm,具有出色的精度和可重复性,可实现精确的微图样传输。TOKYO ELECTRON INDY PLUS包含高度可控的特性,能够控制蚀刻深度和图样大小。它能够控制气体供应、压力、流量、蚀刻速率、漂洗和等离子体蚀刻模式等深度控制参数。用户可以通过配方函数温度平衡和调整蚀刻深度和图样大小，从而实现他们所需的微观图样。此蚀刻器/asher还包括用于实时蚀刻/清洗时间和温度监控的数字显示器。INDYPLUS 蚀刻器/asher还提供集成排气设备和先进的过滤系统，旨在确保最高安全性和运行性能。内置排气过滤器有助于控制气体排放、气味和灰尘，同时防止有害物质泄漏。此外，用户还有能力控制与排气和传热有关的排气单元参数。TOKYO ELECTRON Indy Plus附有一个内置的安全机器，可以防止酸性溶液的过压和泄漏。安全工具还提供了对蚀刻参数更好的控制，使用户可以轻松调整蚀刻深度、图桉大小和对比度。它还包括快速检测气体泄漏、漏水和停电的能力。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS Etcher/Asher是一款高效的生产工具,具有广泛的功能和控制功能。此蚀刻器/洗衣机的设计符合工业和研究应用的需要,对于那些希望获得最高安全性的精确结果的蚀刻器/洗衣机的用户来说,它是理想的选择。