二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用于半导体制造的蚀刻器/asher。它是基于包含多个腔室和晶圆传输系统的工艺模块平台的高级蚀刻平台。TEL INDYPLUS模型可以作为一个asher和蚀刻器，可以用不同的参数操作，以匹配半导体器件精密蚀刻加工的各种需求。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供100 mm的高通量处理,热运行到850℃,输出范围从50-350W。这样就可以在所需温度下最佳利用基板生产。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS在表面也有+/-43.5 nm的目标底物均匀性。它具有自动互锁和安全功能，包括监视晶圆温度的光学传感器、高分辨率背景监视器和防护罩，以保护人员免受潜在辐射和其他危害。TOKYO ELECTRON Indy Plus利用CVD蚀刻技术。该技术用于蚀刻硅、氧化物、氮化物等材料的薄膜层。它能够产生具有单一掩模的高分辨率、深而均匀的沟槽，以及从晶圆到晶圆的可重复结果。TEL INDY PLUS有几个专门的流程。它能够用单分散清洁工艺捕获颗粒轮廓，通过等离子体增强工艺改进光刻图样制作结果，并对表面进行退火以减少蚀刻损伤。INDY PLUS还提供了一个气体输送系统，允许快速的过程设置和稳定的蚀刻过程。TEL Indy Plus可以处理不同的晶圆大小和类型。它能够加工直径不超过200毫米的基板，最大晶圆重量为1.5kg。它还能够处理敏感性和昂贵的基材，如蓝宝石和氧化物晶片。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS还有一个石墨级和卡盘用于降低温度变化，一个低泄漏、低压载流子，以及一个用于过程控制的射频发生器。INDYPLUS具有出色的工艺质量能力。具有旁路频率控制、限频控制、示波器功能等特点。它还提供了一系列用于改进成像的光源配置,以及用于检测线宽变化、蚀刻速率变化和污染的复杂视觉软件。Indy Plus 蚀刻器/asher是一款功能强大的高级蚀刻处理器,用于半导体器件的精密蚀刻处理。它能提供快速可靠的蚀刻最细腻和困难的基材。TOKYO ELECTRON INDYPLUS是硅、氧化物、氮化物、HF、CF和光致抗蚀剂等蚀刻工艺的理想选择。它具有高吞吐量、高分辨率蚀刻和均匀性、各种基板尺寸和类型、气体输送系统以及改进成像的精密视觉软件等一系列功能。