二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）製造的蚀刻器/asher设备，专为高端、全面生产电子装置而设计。它非常适合物理气相沉积（PVD）和各种材料，特别是半导体材料和有机材料制成的器件的蚀刻。TEL INDYPLUS具有双源系统,允许同时涂覆基板两侧。使用此功能,用户可以确信设备的两侧都将满足所需的规格,而无需执行单独处理两侧的其他步骤。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还具有多种配方，可以很容易地预先编程和保存，以备将来使用。这样可以准确地重复化一致设备生产所需的蚀刻参数。TOKYO ELECTRON INDYPLUS采用了久经考验且值得信赖的同步腔室蚀刻技术，确保在整个基板上均匀蚀刻。这样可以确保将蚀刻材料中不需要的残留物保持在最低限度,并减少由于双面蚀刻技术所需的蚀刻时间。此外,设备中的Advanced Process Control （Advanced Process Control, APC）功能可让用户完全控制蚀刻过程,从而允许对诸如压力、压力梯度、腔室温度和温度梯度等蚀刻变量进行有意调整。这台机器为后蚀刻加工提供了多种选择，包括利用湿洗和干洗工艺来微调饰面。其他功能如提升销和高纵横比挖沟也可用于进一步完善。INDYPLUS还内置了互锁和真空警告工具等安全功能，在真空超过某些预设水平时会提醒操作员。总体而言,TEL Indy Plus是高端生产电子设备的理想资产。它可靠且高效,它提供了多种功能,可以一次又一次地优化和重复生产这些设备。