二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种经常用于湿蚀刻和干蚀刻工艺的蚀刻器/asher。TEL INDYPLUS是一种3区设备，有两个工艺室和一个中转室，每个工艺室都有一个独立的等离子源和可疏散快门。TOKYO ELECTRON INDY PLUS非常适合研究和行业设置，可用于加工尺寸达200毫米的底物。TOKYO ELECTRON INDYPLUS的过程控制系统可以方便地设置和切换蚀刻配方。该单元与许多不同的气体兼容，允许多种蚀刻工艺，包括湿蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、金属蚀刻、内层蚀刻和晶圆背面蚀刻。蚀刻工艺还可以定制创建定制的工艺条件，如腔室压力、等离子体功率、工艺时间和气流。Indy Plus还具有可编程快门，允许用户将基板与蚀刻条件相关联。这允许用户根据基板特性优化蚀刻工艺，如介电常数、厚度、材料种类等。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有温度控制功能，允许在蚀刻过程中进行温度维护。这样可以精确控制工艺温度,有助于确保一致的蚀刻结果,最大程度地减少材料的变化。TEL Indy Plus具备良好的兼容性和流程监控能力。该机兼容TEL TEM控制器，提供蚀刻质量的过程中监控，如蚀刻速率。此外，INDY PLUS支持晶圆传输协议，允许将基板转移到腔室外进行蚀刻后分析。最后,INDYPLUS专为安全而设计,具有远程紧急停止按钮和防漏快门设计。TEL INDY PLUS是一种高级蚀刻器/asher,可提供可靠的蚀刻结果、过程控制和过程监控。它的多功能性使得它成为许多研究和行业应用的宝贵工具，从湿蚀刻到晶圆背面蚀刻等等。凭借其先进的安全功能,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS是一个工具的强国,适合那些希望精确和可靠地进行蚀刻的人。