二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375629 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蚀刻器/asher，具有许多特性，使其非常适合半导体制造行业的各种应用。它旨在为半导体制造提供高效的蚀刻和灰化工艺。它是一种多站蚀刻器/灰化器，可用于物理/化学蚀刻和灰化，以去除晶片中的抗蚀剂和其他材料。TEL INDYPLUS设备旨在提供高效可靠的无污染蚀刻和灰化工艺。该系统具有多种功能,可确保所需层的精确蚀刻和灰化。这些特性包括能够精确控制输送方向、线速和高度的高精度输送机单元。该机还配备了强大的控制器，可用于控制整个蚀刻和灰化过程。控制器可用于监测温度、压力、气流等不同参数，以确保最佳效果。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配备了多个工艺室，包括热反应工艺室和底物转子。热反应工艺室的设计为蚀刻和灰化提供了一个最佳的环境。它能够产生高温并确保去除所需的层。基板转子的设计是为了提供最大的均匀性和生产力，同时蚀刻和灰化。TEL INDY PLUS能够蚀刻和灰化金属和多晶硅层以及电介质。它配备了金属蚀刻和灰化的特殊蚀刻气体，也能够进行离子植入过程。该工具旨在确保高度的准确性和可重复性，它具有若干安全功能，包括紧急关闭资产，以便在发生紧急情况时停止该过程。该模型与各种晶圆尺寸兼容，设计为用户友好的图形用户界面。它还配备了数据记录设备，允许用户查看蚀刻和灰化过程历史记录。该系统还设计用于确保较长的使用寿命,因为它配备了易于更换或维修的部件以保持其性能。Indy Plus是半导体制造行业中蚀刻和灰化工艺的理想解决方桉。凭借其强大的设计、可靠性和用户友好的功能,它一定能够提供可靠的蚀刻和灰化过程,并获得最佳效果。