二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款创新的半导体器件制造蚀刻器/asher，设计为高度精确。该设备利用先进的数据控制、自动样品传输以及所有蚀刻和/或灰化过程的实时单环。TEL INDYPLUS能够进行单晶片和批处理，吞吐量高达每小时1000晶片。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供了高度受控的热环境，具有精确的温度控制（50°C至500 °C）和出色的均匀性在整个蚀刻/灰化室表面。该系统还提供化学输送控制，包括精确输送反应性气体和蚀刻/灰化化学物质。这保证了结果的最大统一性和可重复性。INDYPLUS配备了一种特殊的能源，能够对用于蚀刻和/或灰化的离子的能量分布进行高度精确的调整。这样可以改进对蚀刻/灰化过程的控制,更好地调整蚀刻/灰分时间、各向异性和轮廓滚落。此功能允许对蚀刻/灰化过程进行更大的控制,从而提供更高的准确性和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS包括一个自动化的自旋晶圆站，提供精确的晶圆旋转，在整个晶圆上进行均匀蚀刻/灰化。该单元还采用了一个自动化的负载锁转移室，以高效的样品转移。这样就不需要手动进行样品加载和卸载操作,并确保在每个样品上实现所需的蚀刻/灰化过程。INDY PLUS高度用户友好。它配备了全彩色图形LCD用户界面，便于程序创建和修改蚀刻/灰度参数。这使得单晶片和批处理的设置和操作能够快速、方便。最后,Indy Plus得到了优质客户支持服务的支持。这台机器完全由一大批经验丰富的服务技术人员支持和支持,他们可以在发生任何问题时立即提供支持。TEL还提供全面的培训和认证计划,提供必要的支持,以最佳方式利用其工具以获得最佳效果。