二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375631 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用于半导体应用的高级蚀刻器/asher。它是一种多室设备，设计用于高速处理大型硅、复合或合金晶片。TEL INDYPLUS的高速运行是由高端DC/RF电源实现的，该电源可提供工具所需的高达2000瓦的功率。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS拥有先进的多气体控制系统和先进的气体溷合传感装置，确保精密的蚀刻和灰化工艺。该设备还配备了高精度、高速的薄膜厚度监测器，用于精确的工艺控制。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS还提供自动晶圆处理和加载，消除了手动操作错误，减少了操作员疲劳。此外,它还包括先进的预清洁和工艺控制选项,可确保控制一致的清洁和预处理,从而提高分辨率和速度。TEL INDY PLUS还具有高级晶圆映射功能。这种先进的映射技术提供了详细的过程映射，以监测过程的发展和演变。TOKYO ELECTRON Indy Plus还配备了先进的直列式计量机，它捕获并显示精确的实时晶圆数据。最后，INDY PLUS还附带了高度可靠的远程服务工具监控和远程反应控制，由公司的全球支持团队提供。这使用户能够远程诊断和检测资产问题,从而使用户能够快速高效地做出响应。总体而言，TEL Indy Plus是一种先进的多室蚀刻器/asher模型，设计用于处理高精度和高速度的大型晶片。它包括高端直流/射频电源、先进的多气体控制设备、高精度薄膜显示器、自动晶圆处理、先进的晶圆映射能力和先进的在线计量系统。此外,它还提供可靠的远程服务系统监控和远程反应控制,使用户能够快速高效地做出响应。