二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9377463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一种蚀刻器/asher，专门研究EUV光掩模毛坯。它用于精确蚀刻和包装EUV的光掩模毛坯到EUV的光刻准备。该设备具有一系列先进的功能，以最大限度地提高蚀刻和包装的质量和效率。开始时，TEL INDYPLUS配备了多光束光学对准设备。这种先进的技术可以精确地将光掩模的毛坯放置在薄膜上。此外，系统能够为每个空白生成单独的对齐数据，让蚀刻器获得对多个毯子极为精确的对齐。TOKYO ELECTRON INDY PLUS还具有高压、低压、低压等离子蚀刻室。该腔室能够产生超高的蚀刻速率，并且随着时间的推移负载最小。TOKYO ELECTRON INDYPLUS凭借其先进的工艺，即使运行低重力或低温工艺，也能取得高度一致的蚀刻结果。最后，TOKYO ELECTRON Indy Plus结合了一种专门的EUV薄膜包装技术。这项技术可确保将口罩精确包装和放置在薄膜上,从而使毛坯的包装极为均匀和精确。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS还可以配备自动包装和对准装置，用于大量口罩的自动包装。最后,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS 蚀刻器/asher from TEL是一种高度先进的设备,能够产生精确对齐并堆积在EUV微粒上的高质量EUV光掩模毛坯。该装置具有多光束光学对准机、强大的等离子体蚀刻室和专门的EUV光电填充技术。所有这些功能结合在一起,提供独特而先进的蚀刻和包装体验。