二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9384128 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款针对半导体行业的高精度加工需求而开发的先进蚀刻工具。可用于蚀刻、灰烬、平面化层，精度和重复性都很高。该工具包括多区腔室设计，以实现更好的作业均匀性。有七个不同的区域，每个区域都能够承受不同的压力、温度和成分，从而在蚀刻过程中提供统一的结果。它能够通过氧化膜、金属、多晶硅、抗蚀剂等多种材料进行蚀刻。TEL INDYPLUS还配备了先进的Gas蚀刻技术，增强了蚀刻工艺的均匀性和可靠性。这种气体蚀刻工艺通过操纵气体流动来提高蚀刻剖面的均匀性，从而增加吞吐量，提高浅沟的蚀刻深度和其他特征。TOKYO ELECTRON INDY PLUS也提供多种蚀刻食谱，拥有成本因其高可靠性和耐用性而保持较低。可编程逻辑控制单元可确保精确的过程控制，并确保该工具对用户友好。控制器的设计易于与现有工厂MIS系统集成，因为它与各种通信协议兼容。外部远程计算机界面可用，允许用户通过基于Web的界面监控蚀刻过程。用户还可以访问安全的Web服务器进行流程管理和分析。这使用户能够获取重要的蚀刻数据来分析和了解改进过程优化的可加工性。该工具使用边缘环技术来提高蚀刻器的吞吐量并缩短工艺周期时间。这种方法是利用退火的氧化铝在电极、介电和金属之间形成圆柱形连接。退火的氧化铝边缘环不受蚀刻气体的侵蚀，并能抵抗蚀刻，允许更多的边缘控制和更深的蚀刻。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS还附带了分析和处理大型复杂结构的先进技术。这项技术使用户能够更准确地蚀刻出更好的均匀性和对蚀刻过程的控制。该工具易于维护,它提供了最新的精密蚀刻尖端技术。