二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9388215 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款设计用于半导体制造的高度先进的设备。它是一种蚀刻器/ascher机器,又称化学机械抛光(CMP)装置,旨在使半导体工程师能够创造和开发工业前沿的微电子装置。TEL INDYPLUS拥有六轴、高速、精密的机器架构,并且可扩展以增加吞吐量以应对特定挑战。它利用具有高级流程功能和可定制参数的模块化设计来实现所需的性能。它还可以配置特定的流程组件,使工程师能够将系统与他们的特定需求相匹配。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供先进的AS控制单元,允许非常精细的过程调谐。这包括一个自动化的控制机器(也称为ATF工具),在过程中提供更大的可控性和灵活性。该资产还具有高性能传感器分析模型,可以检测和记录蚀刻和抛光过程的各种参数。TOKYO ELECTRON INDYPLUS由于其先进的冷却设备计划而提供了大批量生产和最小的停机时间。通过该系统,工程师可以实现流程自动化,减少人工干预,提高生产率并提高产量。TEL INDY PLUS还具有先进的计量能力,允许准确和可重复的过程监控。高级计量方法如高分辨率二次电子显微镜(SEM)和EDX(模型)可用于监测蚀刻过程结果。总体而言,Indy Plus是一个蚀刻/辅助装置,为工程师提供高度准确和可靠的半导体器件制造工艺。它的模块化设计和可定制组件使用户能够将机器与他们的特定需求相匹配。高度先进的过程控制工具、自动化资产控制、冷却程序和高级计量功能提供了准确和可重复的结果,使TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS成为市场上功能最广泛的蚀刻器/ascher系统之一。
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