二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9389742 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是为半导体工业中的光刻和蚀刻工艺而设计的蚀刻器/asher。这种先进的蚀刻设备非常适合大批量生产IC设备。它提供高精度的阵列设计,具有多种尺寸到几微米的特征。该系统具有很高的准确性和可重复性,它提供了一种经济高效的方法来刻蚀复杂和复杂的组件并制作图案。TEL INDYPLUS能够蚀刻广泛的材料，包括硅、二氧化硅、氮化硅以及其他用于IC制造的材料。它还可以有从亚微米到五微米大小的多种特征。此外,该单元还具有广泛的可自定义参数,允许用户磨练蚀刻过程以获得每个应用程序的最佳结果。机器的主要部件包括三个基本要素：蚀刻器/灰化器、气体输送工具和泵机。蚀刻器/asher是用来将图样蚀刻到所需材料中的设备。蚀刻器/灰化器通过解离去除材料，与氢气结合形成化学溷合物，然后在蚀刻器/灰化器中加热以加速蚀刻过程。气体输送资产负责用所需的气体为蚀刻器/灰化器提供燃料。同时也保证了气体在最佳浓度下的最佳蚀刻结果。泵机用于创建气密模型，使气体在输送到蚀刻器/灰化器之前得到精确的测量和控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是半导体工业中光刻和蚀刻工艺的理想选择，因为它是一种功能强大、成本效益高的设备。凭借其精密的控制和精确的蚀刻效果，它可用于制造各种性能最佳的精密元件。