二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是TEL製造的一款蚀刻器/asher设备，设计用于半导体、MEMS和纳米技术行业的高生产速率和精密蚀刻工艺。该系统能够高精度地蚀刻关键特性,并配备了自动化的过程控制特性,以提高稳定性和可靠性。TEL Indy Asher具有双模工艺室设计，顶部和底部气体分布，以实现最佳的工艺灵活性。上部工艺室用于沉积过程，并配有射频发生器、淋浴喷嘴和加热线圈。下腔用于蚀刻，配有射频发电机和淋浴喷嘴。这使得沉积和蚀刻可以同时进行过程控制和监测，从而提高过程的可重复性和可重复性。TOKYO ELECTRON Indy Asher可以处理200 mm和300 mm晶圆尺寸，以及特殊尺寸如4"或8"。该机组还配备了智能负载控制室，能够保持稳定的工艺条件，减少粒子产生。它还为线性和非线性蚀刻过程提供支持。Indy Asher机配备了高速级、自动对焦和XYZ-旋转级等高精度运动控制系统，用于精确定位。一系列自动化的流程配方控制功能有助于提高流程吞吐量和提高产品质量。它还具有用于过程监控的触摸面板以及用于作业跟踪和生产记录的高级数据存储工具。为了确保工艺安全和可重复性，TEL/TOKYO ELECTRON Indy Asher配备了工艺和故障诊断、温度控制系统和晶片逐晶片工艺控制。该资产还与一系列不同的气体兼容，包括NF3、CF4和NH4ClF，以实现多层蚀刻和沉积。总体而言,TEL Indy Asher旨在提供复杂的工艺能力、准确且可重复的蚀刻工艺和可靠的工艺控制。它非常适合需要精密蚀刻的先进MEMS、半导体和纳米技术应用。