二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293648515 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是专为半导体加工应用而设计的高性能扩散蚀刻器/asher。该设备具有高蚀刻速率、均匀性、重复性和关键工艺参数的精确控制等特点，在数字和模拟应用中均可实现卓越的半导体器件制造性能。TEL Indy设备可以配置为处理多种材料，包括硅、金属、氧化物和氮化物，具体取决于应用。对于硅，系统能够处理蚀刻速率范围广泛的厚膜，从µm到sub-µm，并且可以在整个晶片表面实现+/-5%的优越蚀刻均匀性。这些好处转化为提高晶圆产量、提高吞吐量和降低生产成本。TOKYO ELECTRON Indy单元有两种型号可供选择,两种型号都有很小的占地面积和模块化设计,使它们易于集成到现有的半导体处理环境中。两种模型的主要区别在于等离子体源，无论是RF/DC还是RF/microwave，使得它们适用于广泛的底物和基于等离子体的过程。印地机配备了先进的安全功能，以保护操作员和环境，包括一个监控窗口、表面搜索传感器以及具有除氧功能的排气扇。软件功能（如图形操作工具和过程管理资产）可实现全模型自动化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy设备的原位监控系统允许对晶圆参数进行实时分析，改善过程监控和管理。TEL Indy单元是半导体器件制造的一个强大工具,可以使需要对其器件设计进行可靠和精确处理的组织受益。该机具有先进的安全性和自动化功能,可提高产量,同时降低生产成本和确保环境安全。