二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款下一代蚀刻器/asher设备，在蚀刻或灰化基板时为用户提供精确、精确、可靠的性能。此功能强大的工具配备了TEL的最新技术,以确保在蚀刻/灰化过程中的最高性能。TEL Indy支持湿法和干法蚀刻工艺以及灰泥和光化学工艺。这种提高的工艺灵活性使用户能够获得他们的基材所需的精确蚀刻/灰度定义。TOKYO ELECTRON Indy设计了双载荷锁设计，允许同时载荷和卸载基板，以便更快的处理。此外，印地还提供了一个专利的"升降"晶圆运输系统，用于安全去除和装载基板。此功能可减少刮擦,并提供更好的处理精度。TEL/TOKYO ELECTRON Indy坚固耐用的三级真空涡轮泵,具有无油背衬和高通量,对于创新需要快速处理速度且底物损坏最小的工艺非常宝贵。TEL Indy拥有三区室设计，用于精确的温度控制和统一的处理。高精度运动控制器为纳米级蚀刻/灰化工艺提供了高精度和可重复性。TOKYO ELECTRON Indy还提供了一系列先进的自动化功能，包括用于支持和维护的远程访问、多阵列处理功能以及用于设备全自动运行的软件。最后，Indy是唯一具有内置安全特性的蚀刻机/asher机。钢架将整个工具封闭起来,最大限度地减少了设备的潜在危害.TEL/TOKYO ELECTRON Indy还拥有传感器，用于监测潜在的气体泄漏，并在发生危险情况时停止资产。总之，TEL Indy是需要高精度、精确度和可靠性的蚀刻和灰化基板的理想选择。TOKYO ELECTRON Indy凭借其双载荷锁定设计、3区腔室、高精度运动控制器以及先进的安全特性，提供了业界最佳的蚀刻和灰化效果。
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