二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293658581 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种最先进的自动化asher/etcher设备,旨在使半导体晶圆基板的蚀刻变得简单高效。这种全自动系统能够对各种晶圆材料和尺寸使用不同的蚀刻工艺（腐蚀、钝化、光致抗蚀剂等），使其具有高度的通用性。其先进的功能包括一个计算机控制的前端，带有一个材料处理平台，一个用于导航和定位晶片的成像单元，以及一个用于蚀刻晶片的强大发电机。TEL Indy专为最大吞吐量而设计，具有多个工艺周期和快速晶圆传输时间，以及降低污染速率，以确保晶圆被精确、快速、干净地蚀刻。该机工艺范围大，晶圆尺寸从50毫米到300毫米不等。它设计用于处理最多三层涂层的晶片，允许对高性能材料进行蚀刻。分解蚀刻过程后，TOKYO ELECTRON Indy提供了一个快速简单的过程，首先将晶片装入卡盘，然后标记晶片表面进行成像。接下来,使用成像工具对齐晶片。这允许蚀刻过程开始，与强大的发电机和多个工艺周期以快速的速度蚀刻基板。过程完成后，晶片被卸载，准备下一步。Indy的自动化过程提供了更高的安全性。该资产采用工业级安全模式，包括一个笼子和一对安全屏障，以确保用户在存在强酸和其他光刻化学品的情况下的安全。设备还包括紧急停止按钮，以防发生意外失火。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy提供低维护操作，具有自动晶圆监控、自动更换喷嘴、自动工艺检查等易于维护的特点。该系统还内置数据存储，允许制造商存储数据和质量检查，以便进一步分析。TEL Indy因其先进的蚀刻能力和易于使用的设计，在半导体行业是一个无价的工具。该装置的独特特性使其成为精密高效蚀刻各种半导体晶片基板的绝佳选择。