二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款全自动蚀刻器/asher，设计用于经济高效、高精度的加工。该设备用于半导体行业的一系列处理，包括抗灰化、氮化物蚀刻、氧化物蚀刻、聚蚀刻、金属蚀刻和选择性蚀刻。TEL Indy经过量身定制,可提供最佳性能、精度和可靠性,以满足一系列工艺要求。TOKYO ELECTRON INDY最多可容纳4个工艺室，可以容纳金属和介电层。这使得它适合各种工艺要求，包括石英蚀刻、聚抗蚀条、底物清洗、介电蚀刻。该设备还提供等离子体电源的选择，包括射频、PECVD和ICP电源。Indy的界面模块具有易于使用的面板,允许使用一系列操作参数设置和警报。综合洁净室环境控制系统有助于保护设备免受污染物污染。TEL/TOKYO ELECTRON Indy采用深层反应离子蚀刻（DRIE）等技术,可以采用比传统蚀刻方法更精细的特征尺寸进行蚀刻。TEL Indy附带了一个集成配方管理单元，它允许存储多个配方以实现流程可重复性。自动晶圆处理机也是为方便操作而设计的，提供了防止颗粒污染的保护。TOKYO ELECTRON Indy以经济实惠的价格提供高水平的性能和可靠性。它是半导体研究和制造中精密蚀刻的理想选择。它也是抵抗灰泥、多蚀刻和湿蚀刻/等离子体蚀刻应用的理想选择。印地是满足半导体行业精密蚀刻需求的高效、经济高效、可靠的解决方桉。