二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（以下简称TEL Indy）是一种能够进行氧化物蚀刻、多晶硅蚀刻、晶圆灰化的高端、高通量的蚀刻器/asher。TOKYO ELECTRON Indy是使用本地供应的3轴桌面室和业界领先的控制设备建造的。该腔室采用316级不锈钢制造，底部和侧面涂有陶瓷板，以确保最大限度的隔热效果。在腔室内部，基板由一个专门的电抛光石英敏感器支撑，该敏感器配有一个热板和三个电极，用于有效应用等离子体蚀刻。Indy拥有多种操作功能,可帮助简化流程并提供全面的解决方桉。该系统具有超高速负载锁,可高效处理物料。精密的气体输送装置可以完全控制流量、压力、温度和成分。此外，通用的工艺配方管理机器可以记录多达20个参数，以确保一致和可重复的结果。该工具高效的等离子体源设计提供了低功耗、低运行成本和长寿命。这是通过使用经过优化的CW磁控管源和先进的传感器技术来实现的。这确保了可靠的操作，同时减少有缺陷的基板排斥。TEL/TOKYO ELECTRON Indy还拥有一个具有实时过程控制的先进监控资产。这样可以确保模型能够跟踪和优化整个过程,以确保获得最佳结果。此外,实时温度控制有助于保持目标温度,并允许重复蚀刻,而不管起始温度如何。该设备采用符合人体工程学的设计，便于操作。它具有经过优化的用户界面,具有直观的显示和简化的控制面板。TEL Indy还支持各种数据分析和日志功能，以满足高水平的统计过程控制要求。总之，TOKYO ELECTRON Indy 蚀刻器/asher在氧化物蚀刻、多晶硅蚀刻和晶圆蚀刻方面提供了卓越的性能和可靠的效果。其先进的特性和创新的设计使其能够不断地处于涉及这些材料的工艺的最前沿。