二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293757742 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是为生产半导体器件而设计的高度先进的蚀刻器/asher。蚀刻器/asher的设计使用户能够快速高效地以高精度和精确度蚀刻和磨损基板。TEL Indy配备了用于高级成像的高分辨率、快速扫描电子显微镜（SEM）。12掩码对齐器构成扫描系统的一部分,以便可以在基板内成像单个对齐标记。TOKYO ELECTRON Indy可以毫不费力地蚀刻和粉刷尺寸从5mm到200 mm的设备。该蚀刻器/灰化器配备了用于蚀刻和灰化过程的高精度气体输送系统。TEL设计了Indy,为各种特定应用程序提供完美的蚀刻和粉刷工艺。蚀刻和粉刷过程非常精确,可以一致地产生所需的材料。单层、双层和多层都是使用精密的TEL/TOKYO ELECTRON Indy容易产生的。TEL Indy设计具有多种高级特性,可用于质量控制。利用自动特征分析功能对单层特征和双层特征进行实时晶圆分析和表面检查。TOKYO ELECTRON INDY附有Advanced Leak Detection System （ALDS）功能，这意味着如果有任何粒子进入蚀刻层，蚀刻过程将停止。内置冗余功能还有助于确保最高质量的基板生产。印地还采用了自动化晶圆移动系统，该系统的设计提供了快速快速的生产。蚀刻器/asher的设计使晶片的高精度、高速生产成为可能。自动编程和操作功能允许用户设置一系列优化的晶圆生产周期。自动晶圆定位器还便于晶圆加载、卸载和跟踪。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款高度先进的蚀刻器/asher，其设计提供快速高效的蚀刻和灰化工艺，具有高度的精确度和精确度。TEL Indy的设计具有自动分析、编程和跟踪的功能，以确保半导体基板的质量生产。