二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293758841 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种蚀刻器，或称Asher，设计用于IC和MEMS fabs的研发应用，能够在生产环境中操作。它是利用等离子体产品源高频感应技术进行晶片处理的单晶片配置模型。TEL Indy采用2级设计,允许将Argon-Helium与独立的电源和电感电源控制溷合,并支持250 mm、200 mm和150 mm三种晶圆尺寸。TOKYO ELECTRON Indy通过其高离子能量分辨率和过程参数可以通过实时闭环PID控制来提供卓越的蚀刻精度。此外，软件还配备了模式识别系统来测量蚀刻过程的均匀性。其等离子体发生器具有优异的蚀刻选择性，并为各种材料提供了广泛的蚀刻速率，从而能够应用各种沉积工艺和清洁操作。Indy完全自动化,具有可编程的PID控制功能,可实现流程的统一性,消除操作员的可靠性。加工室具有广泛的温度范围灵活性，可以满足干蚀刻应用的要求。它具有处理大容量晶片的能力，加载能力高达27个晶片。它还具有一个独特的内置气体进料系统，支持晶圆的批量处理和允许过程检测和控制的气流监测系统。它是一种高度可靠且易于使用的蚀刻器，具有高效的重复蚀刻性能，并具有管理晶片负载的综合工作流控制系统。该蚀刻器可靠，为各种清洁和沉积过程提供稳定的等离子体工艺以及低惰性气体要求。TEL/TOKYO ELECTRON Indy是任何晶圆厂的完美补充，提供了高水平的工艺控制、低晶圆维护以及卓越的吞吐量。