二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293821710 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种蚀刻器/asher，用于从基板或基板表面去除不需要的材料。它是一种计算机控制的机器，分为蚀刻室、背面和过程控制与通信三个主要部分。蚀刻室是进行蚀刻过程的地方。它是一个气态大气密封的腔室，可以定制以满足操作员所需的特定蚀刻要求。过程气体通过架空气体出口流入腔室，而基板则使用散装晶片装载机转移到腔室。蚀刻过程可以通过工艺许可控制，控制温度、压力、等离子体功率等参数。蚀刻器/asher的背面是过程控制发生的位置。由控制器、电源、热电偶、真空泵等系统部件组成。控制器与控制蚀刻过程的计算机通信，并根据操作员的指令对过程参数进行调整。电源为蚀刻过程提供电力，而热电偶和真空泵监控并维持蚀刻室内的温度和压力。蚀刻过程还需要过程控制和通信。连接到蚀刻器的系统可以与主过程控制计算机和其他系统组件进行通信。这是通过RS-232、Profibus和TCP/IP等通信协议完成的。它还允许操作员查看和修改蚀刻参数,并监视网络上的蚀刻过程。总体而言,TEL Indy是一种高效的蚀刻器/asher,可提供对蚀刻过程的精确控制。它能够用各种不同的蚀刻气体蚀刻各种类型的基材，从而能够生产出精确精细的产品。此外,它的过程控制和通信功能使操作员能够最大限度地提高产品质量并缩短加工时间。