二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先进的半导体器件制造蚀刻器/asher。它为高长宽比蚀刻和灰化工艺提供了先进的专业化。对于精密蚀刻和灰化，TEL Indy配备了三个可单独控制的独立蚀刻/灰化源，以及激光干涉级导航，提供了更大的重复性和改进的制造效果。TOKYO ELECTRON Indy具有最大过程压力10Torr、最大射频功率2MHz和数字阻抗控制单元，便于精确控制偏置电位。Indy还通过其广泛的模具配置和创新的定向控制功能提供了卓越的灵活性。这样可以更好地控制各种形状、尺寸和材料上的蚀刻或灰化应用程序。TEL/TOKYO ELECTRON Indy与多种工艺气体和底物兼容，进一步增强了满足具有挑战性的蚀刻/灰化要求的能力。此外,TEL Indy的多工艺室设计优化了不同工艺之间的分离,从而实现了更高的吞吐量和更长的刀具正常运行时间。总体而言,TOKYO ELECTRON Indy是一款高级、高度专业化的蚀刻器/asher,可为各种蚀刻和灰化应用提供最佳性能。