二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先进的蚀刻器/asher，提供最佳的加工性能、高吞吐量和出色的均匀性以及广泛的工艺范围，从而实现了高质量和可靠的生产。此设备提供了一个可调、全自动的平台,以及各种蚀刻、添加和剥离过程（包括RIE、CVD和Sputter进程）,使其非常适合任何工艺要求。它配备了先进和可定制的PLC控制设备，用于控制工作流程，通过自动化系统维护和预防功能确保稳定运行。TEL Indy还设计了更大的操作便利性和灵活性，具有易于调整的参数、自动过程条件设置以及易于使用的远程维护功能。TOKYO ELECTRON INDY拥有高性能的蚀刻/asher单元，最大蚀刻速率为40 μ m/min，空间分辨率为5 μ m，工艺范围从30kHz到10GHz。此外,它的快速响应时间有助于实现高吞吐量,并提高了逐行7MHz的重播率。该机还具有进行多方向蚀刻和灰化的能力，具有四向监控能力，非常适合制作精细图桉和小特性。此外,Indy还具有高级安全功能,包括避险系统、防止错误和帮助降低风险。该工具符合SEMI S2等环境安全标准，并兼容多种气体输送系统。TEL/TOKYO ELECTRON Indy创建时采用了先进的机器学习技术,在过程可重复性和生产灵活性方面具有非凡的能力,同时最大限度地减少了停机和维护。其高性能能力使其能够为研究和生产中的多种工艺提供有效可靠的生产解决方桉，而其高精度使其适合于半导体、MEMS和IC器件制造中的应用。