二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款针对高纵横比各向异性蚀刻等高级工艺而设计的蚀刻器/asher。该蚀刻器具有高速射频发电机、高功率、低离子轰击和高度控制的特点。它能够对硅、不锈钢、铜、玻璃等各种材料进行复杂、高精度的蚀刻程序，以及广泛的工艺参数，如晶圆尺寸、蚀刻速率、选择性等。TEL Indy还提供优秀的薄膜沉积特性。先进的涡轮分子泵送系统确保了最大的工艺能力，而宽敞的腔室容积与先进的内部部件结合，可以同时处理多种长宽比大的基板。其干净的设计提供了广泛的工艺参数，并且可以配置为适合不同的应用。TOKYO ELECTRON Indy的特点是等离子体均匀，能蚀刻小宽度、高长宽比。适用于纳米图桉、沟槽蚀刻等薄膜的蚀刻，适用于单晶片和多晶片工艺。印地可以实现比其他技术明显更高的蚀刻速率，并且设计为提供高度的工艺控制和灵活性。其持久的组件可最大程度地减少维护和停机时间,以保持高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON Indy还提供了广泛的后处理功能，如氧气或氮气突破监测、离子分析系统和CCD相机监测，以及端点检测的多种选项。此外,还提供高性能诊断系统以实现快速故障分析。总之，TEL Indy是一种针对高纵横比各向异性蚀刻等先进工艺而设计的优秀蚀刻器/asher。它提供了广泛的过程参数、后处理功能和故障分析工具,并且其持久的组件最大程度地减少了维护和停机时间,以保持高吞吐量和高生产率。