二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种高分辨率蚀刻设备,可最大限度地提高半导体生产过程的产量和吞吐量。该系统设计用于处理大多数类型的散装和器件级基板，如硅、玻璃和不锈钢。TEL Indy单元提供了增强的图像分辨率和蚀刻精度，使用了先进的光学器件、氦硼激光源和冷冻干燥机，以尽量减少颗粒污染。该工具采用模块化设计,可互换刀头,便于在蚀刻和蚀刻清洁应用程序之间进行切换。集成软件允许用户以任何指定模式自动调整每个晶片的功率、速度和电压设置。该资产还采用了氢氟二极管（HFC）技术，旨在为蚀刻提供精确可靠的深度控制。氢氟碳化合物模型溷合惰性气体，在整个晶圆表面实现均匀蚀刻，同时抑制等离子体发射。用于TOKYO ELECTRON Indy蚀刻系统的刀头提供了无与伦比的精确度和分辨率，使图样的精确分辨率降至10nm。刀头可以用不同的墨盒型元件来自订，包括vio-tools、光刻胶旋转器和金属蒸发源。此外,Indy设备还利用集成的过程中传感器实时监控关键流程参数,如气流、温度和功率级别。这些传感器的设计目的是检测任何过程的变化之前，他们变得显着足以影响产量。TEL/TOKYO ELECTRON Indy蚀刻系统还支持一系列功能，包括用于凹槽蚀刻的低温蚀刻模式、用于大体积过程的快速蚀刻模式以及用于预测和防止可能的晶圆像差的异常检测功能。除了提供卓越的蚀刻性能外,TEL Indy设备还提供高速率处理能力、高吞吐量和卓越的均匀性。TOKYO ELECTRON Indy具有全面的特性和功能,是为您的蚀刻生产过程提供动力的理想选择。