二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9244851 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先进的蚀刻设备，对蚀刻过程提供精密的控制。利用先进的技术，TEL印地能够以高度的精确度和可重复性蚀刻各种基材。TOKYO ELECTRON Indy利用一个可升级的平台来产生可能针对特定应用程序和层厚度量身定制的蚀刻结果。精密蚀刻平台基于集成的多级模叶沉积蚀刻单元，由高分辨率场发射枪、真空室、控制电路和专有喷射控制系统组成。该单元允许精确控制一些关键蚀刻参数，如材料剂量、剂量率、喷嘴压力、蚀刻时间和厚度精度。它还提供了屏幕上的个人程序规范和蚀刻配方库，在调整蚀刻参数方面提供了最大的灵活性。Indy的计算机控制、自动化的蚀刻过程最大程度地减少了人为错误,使其具有很高的成本效益和可靠性。该计算机使用基于Windows的软件,提供用户友好的界面和多种操作模式,允许使用不同的蚀刻速率、处理时间和层厚度。该工具能够设计形状蚀刻和传导块蚀刻，以及气隙蚀刻和CMP工艺。它还提供卓越的P-VDF基板兼容性，允许使用几乎任何类型的涂层。TEL/TOKYO ELECTRON Indy还配备了高精度的温度和压力控制资产，为蚀刻工艺提供了进一步的精度和优化。利用TEL专有的原位温度可调谐磁控管溅射技术，可以设置TEL印地，为不同材料和层的最佳蚀刻性能。Indie提供多种配置,如手动或自动加载、IC流程、批处理或单基板自动化以及CMP操作,可提供无与伦比的多功能性,并能够满足大多数蚀刻需求。TOKYO ELECTRON Indy的模块化设计和工程允许轻松升级并与其他组件和现有基础架构集成。此外,模型的冗余特性为关键工业环境提供了更高的可靠性。凭借其卓越的精确度和自动化,Indy是要求苛刻的蚀刻工艺的理想选择,其工艺可靠性和可重复性使其成为可靠、经济高效的选择。