二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9245343 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种蚀刻器/asher，用于制造多种设备，包括集成电路芯片、显示器、传感器和太阳能电池。它是一种以提供精确可靠的蚀刻和灰化处理而闻名的最先进的工具。TEL Indy 蚀刻器/asher具有一个狭窄的、深层的等离子体喷嘴，该喷嘴分配调节的等离子体能量，在包括低k基板在内的各种材料中产生深层蚀刻或清洁过程。狭窄的喷嘴和低感应耦合使各向异性蚀刻或清洁过程具有很大的深度和优异的选择性。TOKYO ELECTRON INDY Etcher/asher有一台能提供最大1 kW的大功率脉冲等离子体发生器，而其创新的多组件集成控制器和SECS-GEM软件则允许使用计算机控制的数据参数和可编程配方自动处理基板。此外，各种加工气体也可用于各种用途。Indy 蚀刻器/asher配置了两室设计,可提高生产效率,并在生产环境中处理设备时实现更高的一致性。发电机由微波源、射频发电机、配电和气体输送系统组成。控制器和软件兼容MFC、质量流控制器、微控制器、PC网络和晶圆垫等I/O设置。TEL/TOKYO ELECTRON Indy 蚀刻器/asher的其他优点包括柔性腔室配置、两种不同类型的输入功率（AC或DC）的选择及其与标准TEL工艺控制接口的兼容性。该机坚固小巧,安装方便,空间配置高效.以可靠性、准确性、可重复性和灵活性着称的TEL Indy 蚀刻器/asher是满足现代工业需求的理想多合一处理技术。其成本效益和简单的维护使其成为蚀刻和灰化应用的首选设备。