二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是由TEL（TOKYO ELECTRON）设计製造的蚀刻器/asher。它是专为使金属和聚合物薄膜等材料在基板上的选择性蚀刻和沉积，并产生一层受控的材料而设计的。TEL Indy采用模块化设计，主要由三个部分组成：蚀刻室、沉积单元和清洁单元，装在真空室中。蚀刻室由阳极氧化铝制成，用于释放气体和引入化学物质进行蚀刻。沉积单元由不锈钢制成，用于在晶片上沉积薄膜。清洁单元由抛光的不锈钢制成，由多个喷嘴和腔室组成，可用于干湿清洗。TOKYO ELECTRON INDY具有广泛的控制参数，包括压力、温度、气体流量和时间，以确保进行精确的蚀刻和沉积。此外,Indy还利用多种安全功能（如多个压力开关、气体变阻器和互锁）,以确保最佳性能和安全性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy拥有一个获得专利的独立真空系统，可确保腔室的完整性并防止材料泄漏。系统还具有远程监控功能，允许用户远程监控和调整系统参数。TEL Indy采用多种半导体蚀刻沉积技术，如电子回旋共振（ECR）电弧蚀刻、电子束蒸发（EBE）沉积和物理气相沉积（PVD）沉积。它还配备了一系列配件，如反作用室、泵和负载锁，以方便各种蚀刻和沉积过程。TOKYO ELECTRON Indy设计具有高度的多功能性，使用户能够蚀刻和沉积包括硅、铝和半导体薄膜在内的多种材料。总之，印地是一种高度先进的蚀刻器/asher，专门为材料的选择性蚀刻和沉积而设计。它具有广泛的控制参数和多种安全功能,以确保最佳性能和安全性。此外,它的模块化设计、一系列附件以及通用的半导体蚀刻和沉积功能使其成为各种蚀刻和沉积应用的理想工具。