二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311033 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（热蚀刻/灰）是东海电子研发的一款高端干蚀刻/灰设备。它具有低压化学蚀刻工艺，适用于Si、SiO2、SiN、SiC、SiGe、WAS、MET、聚合物等多种基材的热蚀刻。该系统具有出色的工艺控制,通过工艺监视器设置和监控温度配置文件。其Pyrocordon蚀刻器具有出色的蚀刻参数范围，允许对薄膜和厚膜进行优化蚀刻。TEL Indy带有几个蚀刻室,能够对各种材料进行蚀刻。该单元还包括一个接近蚀刻器，它允许蚀刻更小，更复杂的图样和特征。机器还具有各种选项,以确保最高的进程可重复性。工艺晶片跟踪和位置控制都有助于蚀刻工艺的重复性。该工具还包括安全工程的各种选项，例如用于增强安全性的气流百叶窗。总体而言，TOKYO ELECTRON Indy热蚀刻/灰分资产允许对各种基材进行高精度蚀刻。其坚固的设计、可靠的工艺控制以及众多的高精度蚀刻选项使模型成为制造高性能电子设备和组件的高度可靠的工具。