二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款卓越的蚀刻/灰分设备，为非常复杂的内存芯片和半导体器件制造提供精确的蚀刻/灰分工艺控制。该系统采用先进的阵列设计技术,能够使用各种不同的材料类型和几何形状进行蚀刻或灰化。它提供了关键的工艺功能,如可变蚀刻/灰分工艺控制、设备阶段扫描、基板阶段精度控制和自动缺陷检测。该机能够处理硅、的、的、的、的等底物。所有材料类型都可以蚀刻或灰化,而无需任何外部硬件。该机配备了触摸屏前面板以及多种安全和过程监控功能。它具有直观的图形用户界面，所有必要的功能和选项都以清晰和有组织的格式排列。设备配有一系列蚀刻/灰烬工艺控制参数，包括可调节电压、功率、压力和电流。它有几个传感器和测量设备，用来测量蚀刻或灰化过程的各种质量，例如压力、电流和温度。这些测量可以优化不同基材材料和几何形状的工艺。TEL Indy拥有先进的单元控制和通信架构，提供对命令的快速响应。低噪声机还具有抗振技术，有助于在蚀刻/灰烬过程中保持高精度。此外，这些设备可以有效地实现自动化，与人工操作相比节省了相当多的时间。该工具设计用于处理大批量生产，容量为每小时80至160个晶圆。此外，干燥蚀刻室和asher室的并行配置允许增加吞吐量，进一步减少了整体处理时间。还可以通过更改干蚀刻和asher配置来增加正在处理的晶片的数量。TOKYO ELECTRON Indy是一种先进的蚀刻/灰分资产，设计用于复合基板的制造。该模型提供精确的蚀刻/灰分工艺控制,允许生产优质产品。可变过程控制、自动化、高通量等先进特性的结合，使设备成为复杂基板制造的理想选择。