二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种蚀刻器/asher，设计用于快速蚀刻和沥青大量材料。该设备采用多硅层沉积室构成，提供高效的晶圆处理吞吐量。这种腔室可以被修改以蚀刻广泛的沉积材料，例如硅、​​和氧化铝。TEL Indy的自动化设备旨在快速准确地控制蚀刻过程，使制造商能够节省时间并提高精度。晶圆转运站也并入其中，最多可装载100个晶圆，直接放置到适当的蚀刻模块。这使得晶圆处理速度比手动传输系统更快。TOKYO ELECTRON Indy是一个强大的蚀刻平台，对蚀刻工艺有优越的控制。它利用突破性和前沿蚀刻技术来持续地高速蚀刻材料。工艺控制系统提供精确的蚀刻深度测量,确保制造商能够创建精确蚀刻和沥青化的产品。其硬件集成在紧凑的机器中，提供广泛的晶圆处理能力。内置的均匀性控制单元确保该设备将提供改进和一致的基板性能。这台机器能够帮助消除错误和耗时的过程。印地线的工程提供了一个坚固的蚀刻室，可以适应特定于蚀刻过程的压力要求。腔室底板设计为完全闭合，会发生微不足道的机械泄漏。蚀刻气体入口模式紧跟单个晶片蚀刻器设计所需的过程。将蚀刻气体注入腔室由包含的蚀刻供应控制，从而实现了最佳工艺。该工具还采用了完整的排气过滤，允许使用清洁的蚀刻气体。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy 蚀刻器/asher是一种功能强大、高效、可靠的工具，用于快速蚀刻和沥青大量材料。自动化的过程控制资产有助于节省时间、提高准确性和减少错误。该装置采用多硅层沉积室，可提供高效的晶圆处理吞吐量。蚀刻气体入口模式和完整的排气过滤也有助于设备的性能。所有这些特性的结合使其成为各种蚀刻和沥青材料的绝佳选择。