二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379783 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一种在半导体工业中提供精确且可重复的蚀刻和灰化工艺的蚀刻器/灰化器。它是一种低压、快速热化学气相沉积（CVD）蚀刻器/灰化器，带有闭环控制设备，设计用于减少蚀刻步骤中的断裂。TEL Indy专为一系列工艺而设计,包括蚀刻和灰化、栅极介电蚀刻、金属蚀刻、CMP去除、SiO2/SiN蚀刻和晶体管栅极氧化。TOKYO ELECTRON Indy具有高度的自动化和温度控制，允许精确的蚀刻和灰化过程。它具有跨多个晶片的高度等离子体均匀性，还提供基于时间和端点的控制选项。Indy的CVD蚀刻/灰化等离子体腔室每个工艺最多可容纳25个晶圆，具有广泛的工艺参数以满足用户的要求。TEL/TOKYO ELECTRON Indy的高级LDE （Learn-Data-Execution）软件允许用户通过调整工艺参数来适应用户定义的要求来自定义蚀刻和灰化工艺。系统会自动将最佳流程配方存储在数据库中,从而允许在流程和可重复结果之间快速切换,且用户输入最少。TEL Indy利用气体输送装置，可以对所有CVD蚀刻/灰化气体进行精确的流量控制和监测。这台机器还允许将惰性气体引入腔室，以降低反射沉积。蚀刻器/asher还具有用户友好、易于使用的图形用户界面（GUI）,它以直观的格式提供流程数据,并允许对流程参数和吞吐量进行故障排除和监控。总体而言，TOKYO ELECTRON Indy是一款先进的蚀刻器/asher工具，旨在为半导体行业提供高效、精确的工艺。其先进的LDE软件、闭环控制资产、高度自动化和温度控制以及气体输送模型，使其成为各种半导体蚀刻和灰化工艺的理想设备。