二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379803 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款蚀刻器/asher，采用先进精确的技术设计，以满足当今半导体生产的需要。它配备了高质量的蒸气源，能够提供高达每分钟10微米的蚀刻速率。蚀刻器/asher具有自动轮廓控制功能,可实现高度精确、均匀的蚀刻过程。它旨在与所有类型的蚀刻和灰化气体兼容，包括CO2、CH4、SiH4、CF4、CH2F2和SF6。该蚀刻器/asher被编程为提供高级半导体器件制造所必需的具有均匀性和工艺精度的卓越工艺可重复性。它具有独特的自动反馈设备，可以不断监控温度和压力，以保持最佳的蚀刻工艺参数。这种高效的系统有助于消除与温度和压力波动有关的问题。在安全方面，蚀刻器/粉碎器的设计采用了一系列预防措施，以保护技术人员不受危险材料的影响。这些措施包括安全验证和关闭系统，以及自动压力控制单元。此外，干侧惰性气体机有助于去除室内的蚀刻/灰分残留物。TEL Indy专为满足高级蚀刻和灰化应用的需求而设计。其先进的特性使得这种蚀刻器/asher非常适合精确、精确地制造高度先进的半导体器件。它旨在在优化循环时间的同时保持过程的可重复性和控制参数。凭借其卓越的特性,蚀刻器/asher为当今的大批量半导体生产线提供了直观可靠的解决方桉。