二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款为复杂的先进半导体加工而设计的蚀刻器/asher。该设备能够处理直径不超过十二英寸的晶片，可以处理光电化学沉积、蚀刻和抗剥离等多种应用。它装有自动化的过程控制功能，一次最多可容纳四个晶圆。蚀刻器使用激光诱导放电等离子体（LIDP）源运行，该源用于将材料沉积到基板上形成器件层。蚀刻器能够使用各种气体进行操作，包括Ar、CF4、PTFE、O2和CHF3。LIDP等离子体源具有四个级别的功率，可以根据应用对不同蚀刻过程进行控制。TEL Indy还具有用于调节功率和气体流量的高分辨率控制模块。这提供了更精确的过程控制结果，使TOKYO ELECTRON Indy能够处理更复杂的应用要求。印地还配备了先进的安全系统。这包括对电源功率水平以及气流和压力设置的安全检查。该装置还配备了一个被动安全阀，用于检测操作过程中可能发生的任何气体泄漏。此外,该机器还配备了互锁设备,其设计目的是在未启用任何安全设置的情况下防止设备启动。TEL/TOKYO ELECTRON Indy的腔室设计具有创新的外形，确保了最佳的均匀性，最大限度地提高了蚀刻工艺效率。蚀刻器还具有低剥离速率,可确保蚀刻结果的质量最高。这种低剥离率还旨在防止过程中的任何污染。TEL Indy是一款具备高级功能的多功能蚀刻机。其模块化设计使其适合各种蚀刻应用。它对蚀刻和沉积过程有很好的控制，可以处理复杂的要求，同时提供优异的效果。该工具具有安全功能,在操作过程中最大限度地提高安全性并防止污染。它一定能提供可靠和准确的结果。