二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806 待售
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ID: 9381806
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款可靠的asher/etcher设备，设计用于对各种材料进行精确的大规模蚀刻。该系统具有先进工艺技术和技术平台的集成来源，提供卓越的蚀刻性能。这允许在高精度上蚀刻半导体、半导体芯片、有机基板、薄膜等多种材料类型。该单元配有一个可编程机器人控制器，用于精确的移动和控制，使精确蚀刻甚至复杂的图样。该机器能够支持多种工艺配方，如单层蚀刻、多层蚀刻、AutoClick和多掩码蚀刻。这些功能结合在一起,为用户提供了具有多种工艺功能组合的完整蚀刻解决方桉。该工具还具有集成的自动清洗功能,可快速高效地清洗蚀刻室,确保性能一致。此外，这项资产还能够使用氙气、氮气和氧气进行蚀刻应用。该模型还提供了针对过程污染的高效保护，具有高纯度环境、高效的气体输送设备和先进的控制算法。这允许最大限度地提取加工化学品，同时将污染率降至最低。除了安全蚀刻性能外，系统还附带多种附加功能，如全面的用户界面、高达其他设备媒体速度的两倍，以及与各种材料的兼容性。该单元还具有实时监控功能，允许用户现场监控不同材料的蚀刻速率，以及一系列警报来检测蚀刻条件的任何意外变化。总体而言,对于需要可靠、高效和全面蚀刻解决方桉的用户而言,TEL Indy 蚀刻器/asher是一台理想的机器。TOKYO ELECTRON Indy凭借其用户友好的界面、支持广泛蚀刻配方的能力以及先进的功能，是各种蚀刻应用的理想选择。
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