二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #9145482 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是一种先进的预清洗蚀刻器/Asher,能够获得最佳的清洗效果,特别是在需要高温的情况下。这台机器配备了特殊的高温晶片蚀刻工艺，使其能够在高达700 ˚C的时间内运行。高温晶片蚀刻工艺确保晶片去除传统湿清洗方法无法清除的残留物和污染物，确保尽可能高的清洁度和精确度。该设备设有密封和屏蔽石英加工室，旨在保护操作员免受任何有害气体的影响，并有助于确保蚀刻介质的清洁度。它还带有一个矢量选项，用于蚀刻均匀薄层的一些最困难的基板。独特的气体入口系统允许用户指定气体浓度和方向，确保高温蚀刻的完美条件。TEL MB2-730 HT-HT包括全方位的工艺参数，可以编程到单元中，以精确的重复性控制蚀刻过程。还包括动态反馈控制,以确保过程符合确切的规格。工艺参数包括时间、温度、功率、气体浓度和压力，允许灵活和精确控制的蚀刻模式。这个单元设计有一个大的石英视口，允许在进程运行时检查整个事件室内部。有许多附件，如光束转向装置、屏蔽聚焦透镜、基板温度传感器以及各种气体入口溷合器和泵。这为用户提供了对进程执行方式的更多控制,还有助于降低总体运行成本。TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是一种用途广泛且可靠的机器,非常适合在高温蚀刻应用中获得最佳效果。它是超清洁处理环境中不可或缺的工具。机器的高精度、高性能特性使其非常适合要求苛刻的蚀刻应用，如MEMS、显示器制造和许多其他半导体工艺。